Síntesis y caracterización de un recubrimiento AI-Si-N obtenido a través del proceso del pulverización catódica reactiva variando el voltaje bias DC [recurso electrónico]

dc.contributor.authorOrtiz Godoy, Richard Andrés
dc.contributor.authorSequeda Osorio, Federico (Director de Tesis o Trabajo de Grado)
dc.date.accessioned2015-11-23T21:31:07Z
dc.date.available2015-11-23T21:31:07Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractSe sintetizó y caracterizó una película delgada de AlSiN a través de la técnica de Pulverización Catódica Reactiva asistida por Campos Magnéticos; utilizando como blanco del sistema una oblea de AlSi (30:70at%) y como substratos acero inoxidable 316L (caracterización mecánica, tribológica y de resistencia a la corrosión), dynasil (medidas de espesor) y zafiro (caracterización óptica). Las películas se crecieron en una atmosfera reactiva de nitrógeno y argón bajo flujos de 0.15sccm y 10sccm respectivamente. Se estudió el efecto del voltaje de polarización sobre las propiedades superficiales, mecánicas, tribológicas, ópticas y de resistencia a la corrosión del recubrimiento al trabajar con potenciales de -50V, -100V, -150V y -200V. Los resultados obtenidos demostraron que a medida que aumenta el voltaje de polarización la morfología de las películas tienden a ser más homogéneas y densas, además se presenta disminución de la rugosidad y del tamaño de grano. En cuanto a las propiedades mecánicas el recubrimiento presentó valores medios de dureza hasta los 17.21 GPa con módulos de 247.96GPa y además sus coeficientes de fricción tomaron valores similares al del acero. Respecto al estudio de las propiedades ópticas se obtuvieron modos vibraciones de la aleación AlSiN a una transmisión apreciable (41¿68 %) en las regiones: cercana infrarroja y visible con una caída o disminución de la transmisión por debajo de 783 nm y un espectro principal de reflectancia de 562 nm.spa
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10893/9044
dc.language.isospaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessspa
dc.subjectRecubrimientospa
dc.subjectCaracterizaciónspa
dc.subjectPeliculas delgadasspa
dc.subjectPulverizacion catodicaspa
dc.subjectIngeniería de materialesspa
dc.subjectResistencia de materialesspa
dc.titleSíntesis y caracterización de un recubrimiento AI-Si-N obtenido a través del proceso del pulverización catódica reactiva variando el voltaje bias DC [recurso electrónico]spa
dc.typeTrabajo de grado - Pregrado spa
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