Síntesis y caracterización de un recubrimiento AI-Si-N obtenido a través del proceso del pulverización catódica reactiva variando el voltaje bias DC [recurso electrónico]
dc.contributor.author | Ortiz Godoy, Richard Andrés | |
dc.contributor.author | Sequeda Osorio, Federico (Director de Tesis o Trabajo de Grado) | |
dc.date.accessioned | 2015-11-23T21:31:07Z | |
dc.date.available | 2015-11-23T21:31:07Z | |
dc.date.issued | 2011 | |
dc.description.abstract | Se sintetizó y caracterizó una película delgada de AlSiN a través de la técnica de Pulverización Catódica Reactiva asistida por Campos Magnéticos; utilizando como blanco del sistema una oblea de AlSi (30:70at%) y como substratos acero inoxidable 316L (caracterización mecánica, tribológica y de resistencia a la corrosión), dynasil (medidas de espesor) y zafiro (caracterización óptica). Las películas se crecieron en una atmosfera reactiva de nitrógeno y argón bajo flujos de 0.15sccm y 10sccm respectivamente. Se estudió el efecto del voltaje de polarización sobre las propiedades superficiales, mecánicas, tribológicas, ópticas y de resistencia a la corrosión del recubrimiento al trabajar con potenciales de -50V, -100V, -150V y -200V. Los resultados obtenidos demostraron que a medida que aumenta el voltaje de polarización la morfología de las películas tienden a ser más homogéneas y densas, además se presenta disminución de la rugosidad y del tamaño de grano. En cuanto a las propiedades mecánicas el recubrimiento presentó valores medios de dureza hasta los 17.21 GPa con módulos de 247.96GPa y además sus coeficientes de fricción tomaron valores similares al del acero. Respecto al estudio de las propiedades ópticas se obtuvieron modos vibraciones de la aleación AlSiN a una transmisión apreciable (41¿68 %) en las regiones: cercana infrarroja y visible con una caída o disminución de la transmisión por debajo de 783 nm y un espectro principal de reflectancia de 562 nm. | spa |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10893/9044 | |
dc.language.iso | spa | spa |
dc.rights.accessrights | info:eu-repo/semantics/openAccess | spa |
dc.subject | Recubrimiento | spa |
dc.subject | Caracterización | spa |
dc.subject | Peliculas delgadas | spa |
dc.subject | Pulverizacion catodica | spa |
dc.subject | Ingeniería de materiales | spa |
dc.subject | Resistencia de materiales | spa |
dc.title | Síntesis y caracterización de un recubrimiento AI-Si-N obtenido a través del proceso del pulverización catódica reactiva variando el voltaje bias DC [recurso electrónico] | spa |
dc.type | Trabajo de grado - Pregrado | spa |
dspace.entity.type | Publication |